[대학저널 유제민 기자] 공주대학교(총장직무대리 김희수) 광공학과 이준호 교수는 지난 10월 27일 서울 코엑스인터컨티넨탈호텔에서 개최된 '제9회 반도체의 날' 기념식에서 반도체산업의 발전과 국가 기술경쟁력 강화에 대한 공로를 인정받아 한국반도체산업협회장상을 수여받았다.
이준호 교수는 반도체 검사와 가공 관련 광학 분야 전문가로 반도체 패턴 결함 검사 장비, 마스크·펠리클 검사 장비, 오버레이(overlay) 검사 장비 등의 개발에 참여했다. 또한 다수의 반도체 관련 국책 연구 개발 사업(산업원천기술개발사업, 신성장동력장비경쟁력강화사업, 미래반도체소자원천기술개발사업)을 수행 완료, 혹은 진행 중이다.
특히 현재 연구개발하고 있는 다중초첨 광학 현미경 검사법(Through-focus scanning optical miscosopy)은 최근 요구되고 있는 수십 nm수준의 3차원 반도체 공정 오류를 검사할 수 있는 획기적인 연구로 관심을 받고 있다.
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