[대학저널 오혜민 기자] 고려대학교 세종캠퍼스 전자·기계융합공학과 박진성 교수 연구팀(팀명 제어계측공학과 나비오스)이 대한기계학회와 국내 반도체 및 디스플레이 제조 장비업체 SEMES가 주최하고 과학기술정보통신부와 산업통상자원부가 후원하는 ‘제3회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’에서 동상을 수상했다.
박진성 교수 연구팀인 ‘제어계측공학과 NaBios’은 ‘반도체 공정 후 발생 잔류가스 처리기(스크러버) 배출 가스의 질소산화물/온도/습도 모니터링 및 피드백 제어시스템 기술 개발’이라는 이름으로 이번 챌린지에 진출했다.
연구팀은 반도체 공정 후 발생하는 유독가스를 효과적으로 처리하기 위한 방법으로 추가 제어시스템을 제안했다. 이는 기존 기술인 스크러버(잔류가스 처리기)에 산화그라핀옥사이드 젤 기술로 유독가스를 검출해 제어하는 원리다.
심사는 서류 평가, 발표 평가로 진행됐다. 이번 챌린지 입상팀 모두 SEMES 입사 시 특전과 동상 수상팀에게는 100만 원 상금이 지원된다.
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